Darbo tikslas. Išnagrinėti puslaidininkinių integrinių grandynų gamybos procesus, išmokti modeliuoti terminės priemaišų difuzijos procesą. Pradiniai duomenys. Skaičiavimų rezultatai. Difuzija iš begalinio šaltinio; difuzinio profilio tyrimas. Difuzinio srauto ir legiravimo dozės skaičiavimas, kai difuzijos šaltinis begalinis. Difuzinio profilio skaičiavimas, kai difuzija vyksta iš baigtinio šaltinio. Priemaišų pasiskirstymas tranzistoriuje, formuojamame dvikartės difuzijos būdu. Išvados.
12.95 KB
